GB∕T 25915《洁净室及相关受控环境》系列标准

目录

GB∕T 25915.1-2021 洁净室及相关受控环境 第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

标准简介

本标准规定了按空气中悬浮粒子浓度划分洁净室、洁净区的空气洁净度等级。

本标准适用于粒径挡下限为0.1 μm~5 μm的颗粒物累积计数分布及其粒子浓度的监测。

本标准不适用于表征空气悬浮粒子的物理性、化学性、放射性、生物活性或其他特性。

发布日期： 2021-08-20

实施日期：2022-03-01 

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GB∕T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测

标准简介

本文件规定了监测计划的基本要求。这个监测计划依据所测量的空气中悬浮粒子浓度或对其有影响的其他参数，监测洁净室或洁净区按粒子浓度划分的空气洁净度方面的性能。

本文件适用于粒径0.1 um～5um粒子浓度的监测。

发布日期： 2021-08-20

实施日期：2022-03-01

预览：GB∕T 25915.2-2021 洁净室及相关受控环境 第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测

GB∕T 25915.3-2010 洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法

标准简介

GB/T 25915的本部分规定了洁净室和洁净区空气悬浮粒子洁净度等级的检测方法，以及洁净室和洁净区性能的检测方法。本部分不适用于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。

发布日期：2011-01-14

实施日期：2011-05-01

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GB∕T 25915.4-2010 洁净室及相关受控环境 第4部分：设计、建造、启动

标准简介

GB/T25915的本部分规定了洁净室设施的设计和建造要求,但并未规定满足那些要求所需的具体技术或契约手段。本部分还给出一份重要性能参数的目录,一并供洁净室设施的需方、供方和设计方使用。本部分给出包括启动和确认要求的建造指南。在考虑运行和维护的相关事项时,明确了保证持续、满意运行的设计和建造的基本要素。

注:有关上述要求的更多解释见附录A~附录H。GB/T25915的其他部分也给出了补充资料。

本部分的应用有如下限定:

———用户要求由需方或规定方提出;

———对洁净室设施内的具体工艺未做规定;

———对消防和安全未做专门规定,消防和安全方面应遵守适用的国家和地方法规;

———仅涉及了不同洁净度区域内及之间工艺介质和公用设施的路径;

———仅涉及了与洁净室建造有关的初始运行和维护的具体要求。

发布日期：2011-01-14

实施日期：2011-06-01

预览：GB∕T 25915.4-2010 洁净室及相关受控环境 第4部分：设计、建造、启动

GB∕T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分：运行

标准简介

GB/T25915的本部分规定了洁净室运行的基本要求,供准备使用并运行洁净室的人员使用。本部分内容未涉及与污染控制有直接关联的安全问题,相关问题应遵守国家和地方的安全法规。本部分涉及生产各类产品的各个级别的洁净室,应用范围广泛,但未涉及各个行业的特定要求。本部分未包括洁净室的常规监测方法和规划的细节,关于粒子的监测参见GB/T25915.2和GB/T25915.3,微生物的监测参见GB/T25916.1和GB/T25916.2。

发布日期： 2011-01-14

实施日期：2011-05-01

预览：GB∕T 25915.5-2010 洁净室及相关受控环境 第5部分：运行

GB∕T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇

标准简介

GB/T25915的本部分给出了洁净室和相关受控环境有关的术语和定义,是本系列标准其他部分出现的术语和定义的汇总。本部分也包括了GB/T25916.1和GB/T25916.2中的术语和定义。

发布日期：2011-01-14

实施日期：2011-05-01

预览：GB∕T 25915.6-2010 洁净室及相关受控环境 第6部分：词汇

GB∕T 25915.7-2010 洁净室及相关受控环境 第7部分：隔离装置

标准简介

GB/T 25915的本部分规定了设计、建造、安装、检测和批准隔离装置的最低要求，这些要求有别于GB/T 25915.4和GB/T 25915.5对洁净室的规定。

发布日期： 2011-01-14

实施日期： 2011-06-01

预览：GB∕T 25915.7-2010 洁净室及相关受控环境 第7部分：隔离装置

GB∕T 25915.8-2021 洁净室及相关受控环境 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级

标准简介

本文件依据洁净室及相关受控环境空气中具体化学物质（种、组或类）的浓度，对空气化学污染进行分级。同时，本文件分级技术要求，给出了包括检测方法、分析方法和时间加权系数在内的规程。

发布日期： 2021-08-20

实施日期： 2022-03-01

预览：GB∕T 25915.8-2021 洁净室及相关受控环境 第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级

GB∕T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级

标准简介

GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中，按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A～附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。

本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面，如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级（SCP）限于粒径0.05 μm～500 μm的粒子。

本部分对以下事项未予考虑：

——特定工艺的洁净度及适合性要求；

——表面的清洁步骤；

——材料特性；

——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项；

——分级和测试统计方法的选择和使用；

——粒子的其他特性，如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。

发布日期：2018-06-07

实施日期： 2018-10-01

预览：GB∕T 25915.9-2018 洁净室及相关受控环境 第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级

GB∕T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级

标准简介

本标准描述了多壁碳纳米管（MWCNTs）介观形状因子的表征方法。所采用的表征技术包括扫描电子显微术（SEM）、透射电子显微术（TEM）、黏度法和光散射法等。

本标准还包括用于界定静态弯曲持续长度（SBPL）表征的附加条款，给出了用于评价SBPL的测量方法。

发布日期： 2021-08-20

实施日期：2022-03-01 

预览：GB∕T 25915.10-2021 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级

GB∕T 25915.12-2021 洁净室及相关受控环境 第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求

标准简介

本标准给出了监测粒径限值不超过0.1微米（100nm）的纳米尺度粒子浓度的技术要求。

发布日期： 2021-10-11

实施日期： 2022-05-01

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GB∕T 25915《洁净室及相关受控环境》系列标准

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