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1 回答
可以从以下几点作参考:
①个要看两个房间的洁净级别是不是一样的。如果是一样的。可以没有压差。如果不是。必须有压差,这样才能保证下工序不被空气污染的可能。压差至少10pa。
②两个操作间的各自存在的操作是否存在污染的风险,如果有,建议还是有压差,如果没有,这样的操作个人认为没问题,同等级别的,这开个传递窗就如同开个门了,无非就是日常管理的问题了
③一般不建议那么做,既然相邻开个门不就好了。传递窗从理论上来说也做不到压差为0,就是相同是5Pa也有差别吧。
这家伙很懒,还没有设置简介
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