99.995%是H14高效过滤器过滤效率的下限，不是出厂检测过滤效率，符合H14级别要求的高效过滤器都会标注这个过滤效率。
执行高效检漏测试时，显示的结果都是泄露率，如PAO测试方法，推荐泄漏率≤0.01%。
由于高温段高效过滤器要在高温下运行，目前还不能达到冷却段和进瓶段高效过滤器过滤效率≥99.995%的要求，因此加热段高效过滤器过滤效率应满足≥99.95%，这两个合格标准描述没有问题。
不要将过滤器出厂时的效率检测和过滤器系统的检漏泄露率混为一谈。
H14高效过滤器的过滤效率99.995%和H13高效过滤器的过滤效率99.95%，均是采用最易穿透粒径（MPPS）逐点扫描后取算数平均值得到的过滤效率总值。通常高效过滤器铭牌上标定的为该过滤器的总值。在高效过滤器下方进行逐点扫描得出的过滤效率为局部值，局部值是高于总值的，对于H13的局部透过率为≤0.25%，H14的局部透过率为≤0.025%
现场PAO检测其实是对过滤器下方进行逐点扫描，检测的是过滤器的局部透过率且扫描的粒径为0.3um，因此，采用PAO测试方法，推荐泄漏率≤0.01%。
参考：
GBT25915.3-2010 洁净室及相关受控环境
